GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范

GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范现行

发布日期：2008-12-15

实施日期：2009-07-01

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标准信息
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公告

【主编部门】	中华人民共和国工业和信息化部
【批准部门】	中华人民共和国住房和城乡建设部
【发布单位】	中华人民共和国住房和城乡建设部，中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
【主编单位】	中国电子系统工程第二建设有限公司
【参编单位】	中国电子科技集团公司第四十五研究所，中国电子科技集团公司第五十八研究所，中国电子科技集团公司第二研究所，中国电子工程设计院，信息产业电子第十一设计研究院有限公司，北京七星华创电子股份有限公司，江南大学
【主要起草人】	王开源，邓顺志，严军，蒋迪宝，晁宇晴，沈贤平，王兴旺，于宗光，杨光明，李骥，王炤文

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中华人民共和国住房和城乡建设部公告
前言
1　总则
2　术语
3　基本规定
- 3.1　施工条件
- 3.2　施工准备
- 3.3　定位放线
- 3.4　设置特殊基础
- 3.5　壁板开洞
- 3.6　室外搬运
- 3.7　设备开箱及吊装
- 3.8　室内搬运
- 3.9　设备安装就位
- 3.10　二次配管配线
- 3.11　二次配管压力试验
4　单机调试及试运转
5　工程验收
- 5.1　一般规定
- 5.2　交接验收
- 5.3　竣工验收
- 5.4　验收不合格处置
附录A　设备安装技术参数
附录B　微电子生产设备安装工艺流程
附录C　人员进出洁净区流程
附录D　工程质量验收记录用表
附录E　典型国产集成电路生产设备单机试运转及验收范例
- E.1　曝光机
- E.2　分步投影曝光机
- E.3　内圆切片机
- E.4　硅片清洗机
- E.5　旋转冲洗甩干机
- E.6　扩散、氧化、退火、CVD设备
- E.7　刻蚀机
- E.8　注入机
本规范用词说明

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中华人民共和国住房和城乡建设部公告

4-4 0-0 0

第 202 号

关于发布国家标准《微电子生产设备安装工程施工及验收规范》的公告

现批准《微电子生产设备安装工程施工及验收规范》为国家标准，编号为GB 50467-2008，自2009年7月1日起实施。其中，第3.10.15、3.10.16、3.10.17、3.10.18、3.11.1、3.11.4、3.11.10、5.4.2条为强制性条文，必须严格执行。

本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。

中华人民共和国住房和城乡建设部

二〇〇八年十二月十五日

本书术语

术语	英文名称
微电子生产设备	micro-electronics manufacturing equip-ment
二次配管配线	hook-up
大宗气体	bulk gas
技术夹层	technical mezzanine
气闸室	air lock
空态	as-built
特殊基础	special foundation

GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范 现行

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中华人民共和国住房和城乡建设部公告

前言

1 总则

2 术语

3 基本规定

3.1 施工条件

3.2 施工准备

3.3 定位放线

3.4 设置特殊基础

3.5 壁板开洞

3.6 室外搬运

3.7 设备开箱及吊装

3.8 室内搬运

3.9 设备安装就位

3.10 二次配管配线

3.11 二次配管压力试验

4 单机调试及试运转

5 工程验收

5.1 一般规定

5.2 交接验收

5.3 竣工验收

5.4 验收不合格处置

附录A 设备安装技术参数

附录B 微电子生产设备安装工艺流程

附录C 人员进出洁净区流程

附录D 工程质量验收记录用表

附录E 典型国产集成电路生产设备单机试运转及验收范例

E.1 曝光机

E.2 分步投影曝光机

E.3 内圆切片机

E.4 硅片清洗机

E.5 旋转冲洗甩干机

E.6 扩散、氧化、退火、CVD设备

E.7 刻蚀机

E.8 注入机

本规范用词说明

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GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范现行

1　总则

2　术语

3　基本规定

3.1　施工条件

3.2　施工准备

3.3　定位放线

3.4　设置特殊基础

3.5　壁板开洞

3.6　室外搬运

3.7　设备开箱及吊装

3.8　室内搬运

3.9　设备安装就位

3.10　二次配管配线

3.11　二次配管压力试验

4　单机调试及试运转

5　工程验收

5.1　一般规定

5.2　交接验收

5.3　竣工验收

5.4　验收不合格处置

附录A　设备安装技术参数

附录B　微电子生产设备安装工艺流程

附录C　人员进出洁净区流程

附录D　工程质量验收记录用表

附录E　典型国产集成电路生产设备单机试运转及验收范例

E.1　曝光机

E.2　分步投影曝光机

E.3　内圆切片机

E.4　硅片清洗机

E.5　旋转冲洗甩干机

E.6　扩散、氧化、退火、CVD设备

E.7　刻蚀机

E.8　注入机