GB 51136-2015 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范

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标准信息

【主编部门】
中华人民共和国工业和信息化部
【批准部门】

中华人民共和国住房和城乡建设部
【发布单位】

中华人民共和国住房和城乡建设部；中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
【主编单位】

工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定额站；中国电子工程设计院
【参编单位】

世源科技工程有限公司；信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司；上海电子工程设计研究院有限公司；京东方科技集团股份有限公司；中国电子系统工程第二建设有限公司；中国电子系统工程第四建设有限公司；上海惠亚铝合金制品有限公司；液化空气（中国）投资有限公司
【主要起草人】

黄文胜；李强；晁阳；赵广鹏；郑秉孝；李骥；秦学礼；肖红梅；王凌旭；吴晓斌；钟景华；韩方俊；张家红；李志伟；王开源；杜宝强；孙宇明；冯卫中；李卫；何正山
【主要审查人】

张百哲；薛长立；邵庆良；关旭东；阚强；叶鸣；邵晓钢；任向东；孙振安

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中华人民共和国住房和城乡建设部公告第926号
前　　言
1　总　　则
2　术　　语
3　基本规定
4　工　　艺
- 4.1　一般规定
- 4.2　基本工序
- 4.3　工艺区划
- 4.4　设备配置
5　厂址选择及总体规划
- 5.1　厂址选择
- 5.2　总体规划
6　建　　筑
- 6.1　一般规定
- 6.2　防火及安全疏散
7　结　　构
- 7.1　一般规定
- 7.2　厂房结构设计
- 7.3　微振动控制标准
- 7.4　微振动控制设计及测试
- 7.5　基座平台设计
8　气体动力
- 8.1　冷、热　源
- 8.2　大宗气体供应
- 8.3　特种气体供应
- 8.4　压缩空气供应
- 8.5　工艺真空和清扫真空
9　供暖、通风、空气调节与净化
- 9.1　一般规定
- 9.2　采暖、通风与废气处理
- 9.3　空气调节与净化
- 9.4　防　排　烟
10　给水排水
- 10.1　一般规定
- 10.2　一般给水排水
- 10.3　纯　　水
- 10.4　工艺冷却循环水
- 10.5　废　　水
- 10.6　消防给水及灭火设施
11　电　　气
- 11.1　供配电与照明
- 11.2　防雷与接地
- 11.3　火灾报警及消防联动
- 11.4　通信及自控
12　防　静　电
- 12.1　一般规定
- 12.2　防静电措施
- 12.3　防静电接地
13　化　学　品
- 13.1　一般规定
- 13.2　化学品储存和配送
- 13.3　管材、阀门
- 13.4　化学品废液收集回收
14　空间管理
- 14.1　一般规定
- 14.2　管线布置
- 14.3　共用管道支、吊架
附录A　薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程
附录B　微振动标准VC曲线
本规范用词说明
引用标准名录

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英文目录

1 General provisions
2 Terms
3 Basic requirements
4 Process design
- 4.1 General requirements
- 4.2 Basic process
- 4.3 Process layout
- 4.4 Equipment configuration
5 Site selection and master plan
- 5.1 Site selection
- 5.2 Site master plan
6 Architectural design
- 6.1 General requirements
- 6.2 Fire protection
7 Structural design
- 7.1 General requirements
- 7.2 Structural design
- 7.3 Vibration control standard
- 7.4 Vibration control design and test
- 7.5 Pedestal design
8 Gases ＆utilities
- 8.1 Cooling and heating source
- 8.2 Bulk gases supply
- 8.3 Special gases supply
- 8.4 Compressed air supply
- 8.5 Process and cleaning vacuum
9 Heating，ventilation，air conditioning and cleaning
- 9.1 General requirements
- 9.2 Heating，ventilation and waste gas treatment
- 9.3 Air conditioning and cleaning
- 9.4 Smoke venting
10 Water supply and drainage
- 10.1 General requirements
- 10.2 General water
- 10.3 Pure water
- 10.4 Cooling water
- 10.5 Waste water treatment
- 10.6 Fire water supply and fire-extinguishing facilities
11 Electrical design
- 11.1 Power supply and illumination
- 11.2 Lighting protection and ground connection
- 11.3 Fire alarm and automatic control system
- 11.4 Automatic control
12 Anti-static
- 12.1 General requirements
- 12.2 Anti-static measures
- 12.3 Anti-static ground connection
13 Chemicals supply
- 13.1 General requirements
- 13.2 Chemicals storage and delivery
- 13.3 Tube and valve
- 13.4 Waste chemicals collection and recycle
14 Space management
- 14.1 General requirements
- 14.2 Pipeline layout
- 14.3 Pipe supports and hangers
Appendix A Typical TFT-LCD process flow
Appendix B Standard vibration control curve
Explanation of wording in this code
List of quoted standards

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中华人民共和国住房和城乡建设部公告第926号

住房城乡建设部关于发布国家标准《薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范》的公告

4-4 0-0 0

现批准《薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范》为国家标准，编号为GB 51136—2015，自2016年6月1日起实施。其中，第10.2.5、10.5.2（2）、10.6.6（1）条（款）为强制性条文，必须严格执行。

本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。

中华人民共和国住房和城乡建设部

2015年9月30日

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本书术语

术语	英文名称	术语	英文名称
薄膜晶体管液晶显示器	thin film transistor liquid crystal display（TFT-LCD）	全自动物料搬送系统	automated material handling system（AMHS）
玻璃基板	glass substrate	阵列	array
彩膜	color filter（CF）	成盒	cell
空间管理	space management	干法刻蚀	dry etching process
等离子体增强化学气相沉积	plasma enhanced chemical vapor deposition（PECVD）

薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范

Code for design of thin film transistor liquid crystal display plant

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中华人民共和国住房和城乡建设部公告第926号

前 言

1 总 则

2 术 语

3 基本规定

4 工 艺

4.1 一般规定

4.2 基本工序

4.3 工艺区划

4.4 设备配置

5 厂址选择及总体规划

5.1 厂址选择

5.2 总体规划

6 建 筑

6.1 一般规定

6.2 防火及安全疏散

7 结 构

7.1 一般规定

7.2 厂房结构设计

7.3 微振动控制标准

7.4 微振动控制设计及测试

7.5 基座平台设计

8 气体动力

8.1 冷、热 源

8.2 大宗气体供应

8.3 特种气体供应

8.4 压缩空气供应

8.5 工艺真空和清扫真空

9 供暖、通风、空气调节与净化

9.1 一般规定

9.2 采暖、通风与废气处理

9.3 空气调节与净化

9.4 防 排 烟

10 给水排水

10.1 一般规定

10.2 一般给水排水

10.3 纯 水

10.4 工艺冷却循环水

10.5 废 水

10.6 消防给水及灭火设施

11 电 气

11.1 供配电与照明

11.2 防雷与接地

11.3 火灾报警及消防联动

11.4 通信及自控

12 防 静 电

12.1 一般规定

12.2 防静电措施

12.3 防静电接地

13 化 学 品

13.1 一般规定

13.2 化学品储存和配送

13.3 管材、阀门

13.4 化学品废液收集回收

14 空间管理

14.1 一般规定

14.2 管线布置

14.3 共用管道支、吊架

附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程

附录B 微振动标准VC曲线

本规范用词说明

引用标准名录

英文目录

1 General provisions

2 Terms

3 Basic requirements

4 Process design

4.1 General requirements

4.2 Basic process

4.3 Process layout

4.4 Equipment configuration

5 Site selection and master plan

5.1 Site selection

5.2 Site master plan

6 Architectural design

6.1 General requirements

前　　言

1　总　　则

2　术　　语

3　基本规定

4　工　　艺

4.1　一般规定

4.2　基本工序

4.3　工艺区划

4.4　设备配置

5　厂址选择及总体规划

5.1　厂址选择

5.2　总体规划

6　建　　筑

6.1　一般规定

6.2　防火及安全疏散

7　结　　构

7.1　一般规定

7.2　厂房结构设计

7.3　微振动控制标准

7.4　微振动控制设计及测试

7.5　基座平台设计

8　气体动力

8.1　冷、热　源

8.2　大宗气体供应

8.3　特种气体供应

8.4　压缩空气供应

8.5　工艺真空和清扫真空

9　供暖、通风、空气调节与净化

9.1　一般规定

9.2　采暖、通风与废气处理

9.3　空气调节与净化

9.4　防　排　烟

10　给水排水

10.1　一般规定

10.2　一般给水排水

10.3　纯　　水

10.4　工艺冷却循环水

10.5　废　　水

10.6　消防给水及灭火设施

11　电　　气

11.1　供配电与照明

11.2　防雷与接地

11.3　火灾报警及消防联动

11.4　通信及自控

12　防　静　电

12.1　一般规定

12.2　防静电措施

12.3　防静电接地

13　化　学　品

13.1　一般规定

13.2　化学品储存和配送

13.3　管材、阀门

13.4　化学品废液收集回收

14　空间管理

14.1　一般规定

14.2　管线布置

14.3　共用管道支、吊架

附录A　薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程

附录B　微振动标准VC曲线