GB 51136-2015 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范

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标准信息

【主编部门】
中华人民共和国工业和信息化部
【批准部门】

中华人民共和国住房和城乡建设部
【发布单位】

中华人民共和国住房和城乡建设部；中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
【主编单位】

工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定额站；中国电子工程设计院
【参编单位】

世源科技工程有限公司；信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司；上海电子工程设计研究院有限公司；京东方科技集团股份有限公司；中国电子系统工程第二建设有限公司；中国电子系统工程第四建设有限公司；上海惠亚铝合金制品有限公司；液化空气（中国）投资有限公司
【主要起草人】

黄文胜；李强；晁阳；赵广鹏；郑秉孝；李骥；秦学礼；肖红梅；王凌旭；吴晓斌；钟景华；韩方俊；张家红；李志伟；王开源；杜宝强；孙宇明；冯卫中；李卫；何正山
【主要审查人】

张百哲；薛长立；邵庆良；关旭东；阚强；叶鸣；邵晓钢；任向东；孙振安

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中华人民共和国住房和城乡建设部公告第926号
前　　言
1　总　　则
2　术　　语
3　基本规定
4　工　　艺
- 4.1　一般规定
- 4.2　基本工序
- 4.3　工艺区划
- 4.4　设备配置
5　厂址选择及总体规划
- 5.1　厂址选择
- 5.2　总体规划
6　建　　筑
- 6.1　一般规定
- 6.2　防火及安全疏散
7　结　　构
- 7.1　一般规定
- 7.2　厂房结构设计
- 7.3　微振动控制标准
- 7.4　微振动控制设计及测试
- 7.5　基座平台设计
8　气体动力
- 8.1　冷、热　源
- 8.2　大宗气体供应
- 8.3　特种气体供应
- 8.4　压缩空气供应
- 8.5　工艺真空和清扫真空
9　供暖、通风、空气调节与净化
- 9.1　一般规定
- 9.2　采暖、通风与废气处理
- 9.3　空气调节与净化
- 9.4　防　排　烟
10　给水排水
- 10.1　一般规定
- 10.2　一般给水排水
- 10.3　纯　　水
- 10.4　工艺冷却循环水
- 10.5　废　　水
- 10.6　消防给水及灭火设施
11　电　　气
- 11.1　供配电与照明
- 11.2　防雷与接地
- 11.3　火灾报警及消防联动
- 11.4　通信及自控
12　防　静　电
- 12.1　一般规定
- 12.2　防静电措施
- 12.3　防静电接地
13　化　学　品
- 13.1　一般规定
- 13.2　化学品储存和配送
- 13.3　管材、阀门
- 13.4　化学品废液收集回收
14　空间管理
- 14.1　一般规定
- 14.2　管线布置
- 14.3　共用管道支、吊架
附录A　薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程
附录B　微振动标准VC曲线
本规范用词说明
引用标准名录

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英文目录

1 General provisions
2 Terms
3 Basic requirements
4 Process design
- 4.1 General requirements
- 4.2 Basic process
- 4.3 Process layout
- 4.4 Equipment configuration
5 Site selection and master plan
- 5.1 Site selection
- 5.2 Site master plan
6 Architectural design
- 6.1 General requirements
- 6.2 Fire protection
7 Structural design
- 7.1 General requirements
- 7.2 Structural design
- 7.3 Vibration control standard
- 7.4 Vibration control design and test
- 7.5 Pedestal design
8 Gases ＆utilities
- 8.1 Cooling and heating source
- 8.2 Bulk gases supply
- 8.3 Special gases supply
- 8.4 Compressed air supply
- 8.5 Process and cleaning vacuum
9 Heating，ventilation，air conditioning and cleaning
- 9.1 General requirements
- 9.2 Heating，ventilation and waste gas treatment
- 9.3 Air conditioning and cleaning
- 9.4 Smoke venting
10 Water supply and drainage
- 10.1 General requirements
- 10.2 General water
- 10.3 Pure water
- 10.4 Cooling water
- 10.5 Waste water treatment
- 10.6 Fire water supply and fire-extinguishing facilities
11 Electrical design
- 11.1 Power supply and illumination
- 11.2 Lighting protection and ground connection
- 11.3 Fire alarm and automatic control system
- 11.4 Automatic control
12 Anti-static
- 12.1 General requirements
- 12.2 Anti-static measures
- 12.3 Anti-static ground connection
13 Chemicals supply
- 13.1 General requirements
- 13.2 Chemicals storage and delivery
- 13.3 Tube and valve
- 13.4 Waste chemicals collection and recycle
14 Space management
- 14.1 General requirements
- 14.2 Pipeline layout
- 14.3 Pipe supports and hangers
Appendix A Typical TFT-LCD process flow
Appendix B Standard vibration control curve
Explanation of wording in this code
List of quoted standards

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中华人民共和国住房和城乡建设部公告第926号

住房城乡建设部关于发布国家标准《薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范》的公告

4-4 0-0 0

现批准《薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范》为国家标准，编号为GB 51136—2015，自2016年6月1日起实施。其中，第10.2.5、10.5.2（2）、10.6.6（1）条（款）为强制性条文，必须严格执行。

本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。

中华人民共和国住房和城乡建设部

2015年9月30日

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本书术语

术语	英文名称	术语	英文名称
薄膜晶体管液晶显示器	thin film transistor liquid crystal display（TFT-LCD）	全自动物料搬送系统	automated material handling system（AMHS）
玻璃基板	glass substrate	阵列	array
彩膜	color filter（CF）	成盒	cell
空间管理	space management	干法刻蚀	dry etching process
等离子体增强化学气相沉积	plasma enhanced chemical vapor deposition（PECVD）

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薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范

Code for design of thin film transistor liquid crystal display plant

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中文目录

中华人民共和国住房和城乡建设部公告第926号

前 言

1 总 则

2 术 语

3 基本规定

4 工 艺

4.1 一般规定

4.2 基本工序

4.3 工艺区划

4.4 设备配置

5 厂址选择及总体规划

5.1 厂址选择

5.2 总体规划

6 建 筑

6.1 一般规定

6.2 防火及安全疏散

7 结 构

7.1 一般规定

7.2 厂房结构设计

7.3 微振动控制标准

7.4 微振动控制设计及测试

7.5 基座平台设计

8 气体动力

8.1 冷、热 源

8.2 大宗气体供应

8.3 特种气体供应

8.4 压缩空气供应

8.5 工艺真空和清扫真空

9 供暖、通风、空气调节与净化

9.1 一般规定

9.2 采暖、通风与废气处理

9.3 空气调节与净化

9.4 防 排 烟

10 给水排水

10.1 一般规定

10.2 一般给水排水

10.3 纯 水

10.4 工艺冷却循环水

10.5 废 水

10.6 消防给水及灭火设施

11 电 气

11.1 供配电与照明

11.2 防雷与接地

11.3 火灾报警及消防联动

11.4 通信及自控

12 防 静 电

12.1 一般规定

12.2 防静电措施

12.3 防静电接地

13 化 学 品

13.1 一般规定

13.2 化学品储存和配送

13.3 管材、阀门

13.4 化学品废液收集回收

14 空间管理

14.1 一般规定

14.2 管线布置

14.3 共用管道支、吊架

附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程

附录B 微振动标准VC曲线

本规范用词说明

引用标准名录

英文目录

1 General provisions

2 Terms

3 Basic requirements

4 Process design

4.1 General requirements

4.2 Basic process

4.3 Process layout

4.4 Equipment configuration

5 Site selection and master plan

5.1 Site selection

5.2 Site master plan

6 Architectural design

6.1 General requirements

前　　言

1　总　　则

2　术　　语

3　基本规定

4　工　　艺

4.1　一般规定

4.2　基本工序

4.3　工艺区划

4.4　设备配置

5　厂址选择及总体规划

5.1　厂址选择

5.2　总体规划

6　建　　筑

6.1　一般规定

6.2　防火及安全疏散

7　结　　构

7.1　一般规定

7.2　厂房结构设计

7.3　微振动控制标准

7.4　微振动控制设计及测试

7.5　基座平台设计

8　气体动力

8.1　冷、热　源

8.2　大宗气体供应

8.3　特种气体供应

8.4　压缩空气供应

8.5　工艺真空和清扫真空

9　供暖、通风、空气调节与净化

9.1　一般规定

9.2　采暖、通风与废气处理

9.3　空气调节与净化

9.4　防　排　烟

10　给水排水

10.1　一般规定

10.2　一般给水排水

10.3　纯　　水

10.4　工艺冷却循环水

10.5　废　　水

10.6　消防给水及灭火设施

11　电　　气

11.1　供配电与照明

11.2　防雷与接地

11.3　火灾报警及消防联动

11.4　通信及自控

12　防　静　电

12.1　一般规定

12.2　防静电措施

12.3　防静电接地

13　化　学　品

13.1　一般规定

13.2　化学品储存和配送

13.3　管材、阀门

13.4　化学品废液收集回收

14　空间管理

14.1　一般规定

14.2　管线布置

14.3　共用管道支、吊架

附录A　薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程

附录B　微振动标准VC曲线