4　总体设计

• 4.1　洁净厂房位置选择和总平面布置

• 4.2　工艺平面布置和设计综合协调

• 4.3　人员净化和物料净化

• 4.4　噪声控制

• 4.5　微振控制

5　建筑

• 5.1　一般规定

• 5.2　防火和疏散

• 5.3　室内装修

6　空气净化

• 6.1　一般规定

• 6.2　洁净室压差控制

• 6.3　气流流型和送风量

• 6.4　空气净化处理

• 6.5　采暖通风、防排烟

• 6.6　风管和附件

7　给水排水

• 7.1　一般规定

• 7.2　给水

• 7.3　排水

• 7.4　消防给水和灭火设备

8　工业管道

• 8.1　一般规定

• 8.2　管道材料和阀门

• 8.3　管道连接

• 8.4　安全技术

9　电气

• 9.1　配电

• 9.2　照明

• 9.3　通信

• 9.4　自动控制

• 9.5　静电防护及接地

附录A　洁净室或洁净区性能测试和认证

• A.1　通则

• A.2　洁净室或洁净区性能测试要求

• A.3　洁净室主要测试方法

• A.4　监测

• A.5　认证

4 Overall design

• 4.1 Location selection and general layout of clean plant

• 4.2 Process layout and design coordination

• 4.3 Personnel and material purification

• 4.4 Noise control

• 4.5 Microvibration control

5 Architecture

• 5.1 General requirement

• 5.2 Fire protection and evacuation

• 5.3 Interior decoration

6 Air purification

• 6.1 General requirement

• 6.2 Pressure control of clean room

• 6.3 Air flow pattern and supply airflow rate

• 6.4 Air purification

• 6.5 Heating and ventilation，smoke control

• 6.6 Duct and accessories

7 Water supply and drainage

• 7.1 General requirement

• 7.2 Water supply

• 7.3 Drainage

• 7.4 Fire water supply and fire fighting equipment

8 Industrial pipe

• 8.1 General requirement

• 8.2 Pipeline materials and valves

• 8.3 Pipe connections

• 8.4 Security technology

9 Electric

• 9.1 Power distribution

• 9.2 Illumination

• 9.3 Communication

• 9.4 Automatic control

• 9.5 Electrostatic protection and grounding

Appendix A Performance testing and certification of the clean room or clean zone