GB 51401-2019 电子工业废气处理工程设计标准 - 工标库
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GB 51401-2019 电子工业废气处理工程设计标准现行
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中华人民共和国住房和城乡建设部公告
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前 言
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1 总 则
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2 术 语
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3 基本规定
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4 工艺及工艺设备
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4.1 一般规定
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4.2 污染物控制
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4.3 应急设施
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5 碱性废气系统
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5.1 一般规定
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5.2 处理流程和方法
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5.3 处理设备
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5.4 风管及附件
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6 酸性废气系统
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6.1 一般规定
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6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气
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7 挥发性有机物废气系统
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7.1 一般规定
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7.2 废气收集、排风管道系统
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7.3 处理系统
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7.4 处理设备
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7.5 自动控制及安全措施
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8 特种废气系统
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8.1 一般规定
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8.2 烷类尾气处理系统
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8.3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
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8.4 其他特种尾气处理系统
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8.5 中央废气处理系统
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9 除尘系统
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9.1 一般规定
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9.2 系统设计、处理流程及方法
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9.3 处理设备
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9.4 风管及附件
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10 电子玻璃窑炉废气系统
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10.1 一般规定
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10.2 系统设计、处理流程及方法
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10.3 处理设备
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10.4 风管及附件
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11 事故通风
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11.1 一般规定
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11.2 系统设计及有害气体净化
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12 电气设计
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附录A 电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度（IDLH）
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本标准用词说明
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引用标准名录
