GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范 - 工标库
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GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范现行
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中华人民共和国住房和城乡建设部公告
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前言
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1 总则
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2 术语
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3 电子产品生产环境设计要求
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4 总体设计
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4.1 位置选择和总平面布置
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4.2 洁净室型式
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4.3 洁净室布置和综合协调
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5 工艺设计
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5.1 一般规定
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5.2 工艺布局
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5.3 人员净化
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5.4 物料净化
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5.5 设备及工器具
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6 洁净建筑设计
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6.1 一般规定
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6.2 防火和疏散
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6.3 室内装修
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7 空气净化和空调通风设计
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7.1 一般规定
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7.2 气流流型和送风量
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7.3 净化空调系统
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7.4 空气净化设备
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7.5 采暖、通风
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7.6 排烟
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7.7 风管、附件
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8 给水排水设计
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8.1 一般规定
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8.2 给水
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8.3 排水
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8.4 雨水
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8.5 消防给水和灭火设备
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9 纯水供应
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9.1 一般规定
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9.2 纯水系统
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9.3 管材、阀门和附件
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10 气体供应
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10.1 一般规定
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10.2 常用气体系统
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10.3 干燥压缩空气系统
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10.4 特种气体系统
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11 化学品供应
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11.1 一般规定
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11.2 化学品储存、输送
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11.3 管材、阀门
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12 电气设计
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12.1 配电
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12.2 照明
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12.3 通信与安全保护装置
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12.4 自动控制
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12.5 接地
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13 防静电与接地设计
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13.1 一般规定
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13.2 防静电措施
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13.3 防静电接地
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14 噪声控制
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15 微振控制
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15.1 一般规定
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15.2 容许振动值
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15.3 微振动控制设计
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附录A 各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求
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附录B 电子产品生产间/工序的火灾危险性分类举例
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附录C 精密仪器、设备的容许振动值举例
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附录D 洁净室（区）性能测试和认证
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D.1 通则
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D.2 洁净室（区）性能测试要求
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D.3 洁净室测试方法
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D.4 认证
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D.5 记录
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本规范用词说明
