GB 50646-2011 特种气体系统工程技术规范

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【主编部门】
中华人民共和国工业和信息化部
【批准部门】

中华人民共和国住房和城乡建设部
【发布单位】

中华人民共和国住房和城乡建设部，中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
【主编单位】

信息产业电子第十一设计研究院有限公司，中国电子系统工程第二建设有限公司
【参编单位】

上海正帆超净技术有限公司，中国电子工程设计院，中国电子科技集团公司第五十八研究所，上海华虹NEC电子有限公司，成都爱德工程有限公司
【参加单位】

上海兄弟微电子技术有限公司
【主要起草人】

李骥，王开源，薛长立，杜宝强，黄勇，李东升，江元升，欧华星，张家红，夏双兵，陆崎，李少洪，王凌旭，张强，顾爱军，陈奕弢，崔永祥
【主要审查人】

陈霖新，阚强，万铜良，陈关夫，汤有纶，周礼誉，侯文川，杨琦，丁柯

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中华人民共和国住房和城乡建设部公告
前言
1　总则
2　术语
3　特种气体站房
- 3.1　一般规定
- 3.2　特种气体站房分类
- 3.3　特种气体设备的布置
4　特种气体工艺系统
- 4.1　一般规定
- 4.2　特种气体输送系统
- 4.3　吹扫和排气系统
5　硅烷站
- 5.1　硅烷站工艺系统
- 5.2　硅烷站的布置
- 5.3　安全技术措施
- 5.4　采暖通风与空气调节
- 5.5　消防系统
6　特种气体管道输送系统
- 6.1　一般规定
- 6.2　材料选型
- 6.3　管道设计
- 6.4　管道标识
7　建筑结构
8　电气与防雷
- 8.1　配电与照明
- 8.2　防雷与接地
9　生命安全系统
- 9.1　特种气体管理系统
- 9.2　特种气体探测系统
- 9.3　安全设施
- 9.4　特种气体报警的联动控制
10　给水排水及消防
- 10.1　给水排水
- 10.2　消防
11　采暖通风与空气调节
- 11.1　采暖通风
- 11.2　空气调节
12　特种气体系统工程施工
- 12.1　一般规定
- 12.2　主要设备、材料进场验收
- 12.3　气瓶柜与气瓶架的安装
- 12.4　阀门箱与阀门盘的安装
- 12.5　特种气体管道安装
- 12.6　特种气体管道改、扩建工程施工
- 12.7　特种气体系统的检验
- 12.8　尾气处理装置的安装
- 12.9　生命安全设施安装
13　特种气体系统验收
- 13.1　一般规定
- 13.2　设备验收
- 13.3　管路与系统验收
- 13.4　气体探测与监控系统验收
附录A　特种气体管道氦检漏方法
附录B　特种气体系统验收测试记录表
本规范用词说明
引用标准名录

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中华人民共和国住房和城乡建设部公告

4-4 0-0 0

第1076号

关于发布国家标准《特种气体系统工程技术规范》的公告

现批准《特种气体系统工程技术规范》为国家标准，编号为GB 50646-2011，自2012年6月1日起实施。其中，第3.1.4、3.3.6、4.2.1（2、6）、4.3.1、5.1.5、5.1.8、5.2.1（5）、5.2.2、5.2.5、5.2.6、5.3.1、5.3.5、5.4.7、5.5.1（1）、6.1.3、6.1.4、6.1.6、7.0.6、7.0.7、9.2.1、9.2.5、10.1.4、10.2.5、11.1.10、11.1.11、11.2.5、12.6.2、12.8.4条（款）为强制性条文，必须严格执行。

本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。

中华人民共和国住房和城乡建设部

二〇一一年七月二十六日

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本书术语

术语	英文名称	术语	英文名称
特种气体	specialily gas	特种气体系统	speciality gas system
特种气体间	speciality gas room	硅烷站	silane station
数据采集与监视控制系统	supervisory control and data acquisition（SCADA）	工厂设备管理控制系统	facility management control system（FMCS）
大宗硅烷系统	bulk silane system	大宗特种气体系统	bulk speciality gas system
液态特种气体系统	the liquid speciality gas system	气瓶集装格	the bundle of gas cylinders

特种气体系统工程技术规范

Technical code for speciality gas system engineering

标准信息

中文目录

中华人民共和国住房和城乡建设部公告

前言

1 总则

2 术语

3 特种气体站房

3.1 一般规定

3.2 特种气体站房分类

3.3 特种气体设备的布置

4 特种气体工艺系统

4.1 一般规定

4.2 特种气体输送系统

4.3 吹扫和排气系统

5 硅烷站

5.1 硅烷站工艺系统

5.2 硅烷站的布置

5.3 安全技术措施

5.4 采暖通风与空气调节

5.5 消防系统

6 特种气体管道输送系统

6.1 一般规定

6.2 材料选型

6.3 管道设计

6.4 管道标识

7 建筑结构

8 电气与防雷

8.1 配电与照明

8.2 防雷与接地

9 生命安全系统

9.1 特种气体管理系统

9.2 特种气体探测系统

9.3 安全设施

9.4 特种气体报警的联动控制

10 给水排水及消防

10.1 给水排水

10.2 消防

11 采暖通风与空气调节

11.1 采暖通风

11.2 空气调节

12 特种气体系统工程施工

12.1 一般规定

12.2 主要设备、材料进场验收

12.3 气瓶柜与气瓶架的安装

12.4 阀门箱与阀门盘的安装

12.5 特种气体管道安装

12.6 特种气体管道改、扩建工程施工

12.7 特种气体系统的检验

12.8 尾气处理装置的安装

12.9 生命安全设施安装

13 特种气体系统验收

13.1 一般规定

13.2 设备验收

13.3 管路与系统验收

13.4 气体探测与监控系统验收

附录A 特种气体管道氦检漏方法

附录B 特种气体系统验收测试记录表

本规范用词说明

引用标准名录

英文目录

1 General provisions

2 Terms

3 Speciality gases room

3.1 General requirement

3.2 Speciality gases room classification

3.3 Gases equipment layout

4 Process system of speciality gases

4.1 General requirement

4.2 Pipeline system of speciality gases

4.3 Purge and vent system

5 Silane station

5.1 Silane process system

5.2 Silane station layout

5.3 Safety technology methods

5.4 Heat ventilation&air conditioning

5.5 Fire protection system

6 Pipeline of speciality gases

6.1 General requirement

1　总则

2　术语

3　特种气体站房

3.1　一般规定

3.2　特种气体站房分类

3.3　特种气体设备的布置

4　特种气体工艺系统

4.1　一般规定

4.2　特种气体输送系统

4.3　吹扫和排气系统

5　硅烷站

5.1　硅烷站工艺系统

5.2　硅烷站的布置

5.3　安全技术措施

5.4　采暖通风与空气调节

5.5　消防系统

6　特种气体管道输送系统

6.1　一般规定

6.2　材料选型

6.3　管道设计

6.4　管道标识

7　建筑结构

8　电气与防雷

8.1　配电与照明

8.2　防雷与接地

9　生命安全系统

9.1　特种气体管理系统

9.2　特种气体探测系统

9.3　安全设施

9.4　特种气体报警的联动控制

10　给水排水及消防

10.1　给水排水

10.2　消防

11　采暖通风与空气调节

11.1　采暖通风

11.2　空气调节

12　特种气体系统工程施工

12.1　一般规定

12.2　主要设备、材料进场验收

12.3　气瓶柜与气瓶架的安装

12.4　阀门箱与阀门盘的安装

12.5　特种气体管道安装

12.6　特种气体管道改、扩建工程施工

12.7　特种气体系统的检验

12.8　尾气处理装置的安装

12.9　生命安全设施安装

13　特种气体系统验收

13.1　一般规定

13.2　设备验收

13.3　管路与系统验收

13.4　气体探测与监控系统验收

附录A　特种气体管道氦检漏方法

附录B　特种气体系统验收测试记录表