GB 51401-2019 电子工业废气处理工程设计标准

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【主编部门】
中华人民共和国工业和信息化部
【批准部门】

中华人民共和国住房和城乡建设部
【发布单位】

中华人民共和国住房和城乡建设部；国家市场监督管理总局
【主编单位】

工业和信息化部电子工业标准化研究院；中国电子工程设计院有限公司
【参编单位】

世源科技工程有限公司；信息产业电子第十一设计研究院科技；工程股份有限公司；清华大学；同济大学；上海电子工程设计研究院有限公司；上海华懋环保节能设备有限公司；奥意建筑工程设计有限公司；北京京东方光电科技有限公司；深圳市华星光电技术有限公司；三星工程建设(上海)有限公司；北京康肯环保设备有限公司；上海华力微电子有限公司；中国电子科技集团第五十五研究所；应用材料(中国)有限公司；中国电子系统工程第四建设有限公司；天津市武清区环境工程设备有限公司；苏州艾特斯环保设备有限公司；爱美克环保工业(武汉)有限公司；东莞兆能环境科技有限公司；中国电子系统工程第二建设有限公司；上海盛剑环境系统科技有限公司；唐纳森(中国)贸易有限公司；上海点夺电子科技有限公司
【主要起草人】

秦学礼；肖红梅；江元升；莫金汉；阎冬；羌宁；陆崎；徐刚；杜宝强；赵海生；湛云忠；李杨；吴新；何菁；李朝英；永井勇；林云；韩科勇；颜登通；曹布霖；云希康；邱会东；黄桂超；张作保；巫曼曼；蒋磊；张伟明；丁宏伟；钟平
【主要审查人】

刘俊杰；任兆成；丁杰；阎宇宏；刘强；王素英；李坚；明慧玲；张利群

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中华人民共和国住房和城乡建设部公告
前　　言
1　总　　则
2　术　　语
3　基本规定
4　工艺及工艺设备
- 4.1　一般规定
- 4.2　污染物控制
- 4.3　应急设施
5　碱性废气系统
- 5.1　一般规定
- 5.2　处理流程和方法
- 5.3　处理设备
- 5.4　风管及附件
6　酸性废气系统
- 6.1　一般规定
- 6.2　氮氧化物、高浓度酸及电镀废气
7　挥发性有机物废气系统
- 7.1　一般规定
- 7.2　废气收集、排风管道系统
- 7.3　处理系统
- 7.4　处理设备
- 7.5　自动控制及安全措施
8　特种废气系统
- 8.1　一般规定
- 8.2　烷类尾气处理系统
- 8.3　全氟化合物（PFC）尾气处理系统
- 8.4　其他特种尾气处理系统
- 8.5　中央废气处理系统
9　除尘系统
- 9.1　一般规定
- 9.2　系统设计、处理流程及方法
- 9.3　处理设备
- 9.4　风管及附件
10　电子玻璃窑炉废气系统
- 10.1　一般规定
- 10.2　系统设计、处理流程及方法
- 10.3　处理设备
- 10.4　风管及附件
11　事故通风
- 11.1　一般规定
- 11.2　系统设计及有害气体净化
12　电气设计
- 12.1　供配电与照明
- 12.2　防雷与接地
附录A　电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度（IDLH）
本标准用词说明
引用标准名录

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英文目录

1　General provisions
2　Terms
3　Basic requirments
4　Process and processing equipment
- 4.1　General requirements
- 4.2　Pollution control
- 4.3　Emergency facilities
5　Alkaline exhaust system
- 5.1　General requirements
- 5.2　Process and methods
- 5.3　Process equipment
- 5.4　Duct and accessories
6　Acid exhaust system
- 6.1　General requirements
- 6.2　Nitric oxide，high concentration acid and electroplating exhaus
7　Volatile organic compounds exhaust system
- 7.1　General requirements
- 7.2　Exhaust collection and exhaust duct system
- 7.3　Process system
- 7.4　Process equipment
- 7.5　Automatic control and safety measures
8　Special contaminated exhaust system
- 8.1　General requirements
- 8.2　Alkanes point-of-use exhaust system
- 8.3　Perfluorocompounds point-of-use exhaust system
- 8.4　Other special contaminated exhaust system
- 8.5　Centralized abatement system
9　Dust removing system
- 9.1　General requirements
- 9.2　System design，process and methods
- 9.3　Process equipment
- 9.4　Duct and accessories
10　Electronic glass furnace exhaust system
- 10.1　General requirements
- 10.2　System design，process and methods
- 10.3　Process equipment
- 10.4　Duct and accessories
11　Emergency exhaust
- 11.1　General requirements
- 11.2　System design and purifying harmful gas
12　Electrical design
- 12.1　Electric power supply and lighting
- 12.2　Lightning protection and earthing
Appendix A　Immediately dangerous to life or health of high toxic substances in electronic industry
Explanation of wording in this standard
List of quoted standards

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中华人民共和国住房和城乡建设部公告

4-40-00

2019年　第321号

住房和城乡建设部关于发布国家标准《电子工业废气处理工程设计标准》的公告

现批准《电子工业废气处理工程设计标准》为国家标准，编号为GB 51401—2019，自2020年4月1日起实施。其中，第3.0.3、3.0.6（1）、3.0.8、3.0.10、3.0.17条（款）为强制性条文，必须严格执行。

本标准在住房和城乡建设部门户网站（www.mohurd.gov.cn）公开，并由住房和城乡建设部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。

中华人民共和国住房和城乡建设部

2019年11月22日

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本书术语

术语	英文名称	术语	英文名称
封闭箱体	enclosure	设备排风静压	exhausting static pressure of equipment
不相容	incompatible	局部排风	local exhaust
酸性废气	acid contaminated exhaust	碱性废气	alkaline contaminated exhaust
特种废气	special contaminated exhaust	全氟化合物	perfluorocompounds（PFCs）
立即危害生命和健康浓度	immediately dangerous to life and health（IDLH）	限流阀	restricted-flow orifice

电子工业废气处理工程设计标准

Standard for design of electronic industry emissions treatment engineering

标准信息

中文目录

中华人民共和国住房和城乡建设部公告

前 言

1 总 则

2 术 语

3 基本规定

4 工艺及工艺设备

4.1 一般规定

4.2 污染物控制

4.3 应急设施

5 碱性废气系统

5.1 一般规定

5.2 处理流程和方法

5.3 处理设备

5.4 风管及附件

6 酸性废气系统

6.1 一般规定

6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气

7 挥发性有机物废气系统

7.1 一般规定

7.2 废气收集、排风管道系统

7.3 处理系统

7.4 处理设备

7.5 自动控制及安全措施

8 特种废气系统

8.1 一般规定

8.2 烷类尾气处理系统

8.3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统

8.4 其他特种尾气处理系统

8.5 中央废气处理系统

9 除尘系统

9.1 一般规定

9.2 系统设计、处理流程及方法

9.3 处理设备

9.4 风管及附件

10 电子玻璃窑炉废气系统

10.1 一般规定

10.2 系统设计、处理流程及方法

10.3 处理设备

10.4 风管及附件

11 事故通风

11.1 一般规定

11.2 系统设计及有害气体净化

12 电气设计

12.1 供配电与照明

12.2 防雷与接地

附录A 电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度（IDLH）

本标准用词说明

引用标准名录

英文目录

1 General provisions

2 Terms

3 Basic requirments

4 Process and processing equipment

4.1 General requirements

4.2 Pollution control

4.3 Emergency facilities

5 Alkaline exhaust system

5.1 General requirements

5.2 Process and methods

5.3 Process equipment

5.4 Duct and accessories

6 Acid exhaust system

6.1 General requirements

6.2 Nitric oxide，high concentration acid and electroplating exhaus

7 Volatile organic compounds exhaust system

7.1 General requirements

7.2 Exhaust collection and exhaust duct system

7.3 Process system

7.4 Process equipment

7.5 Automatic control and safety measures

8 Special contaminated exhaust system

8.1 General requirements

8.2 Alkanes point-of-use exhaust system

8.3 Perfluorocompounds point-of-use exhaust system

8.4 Other special contaminated exhaust system

8.5 Centralized abatement system

前　　言

1　总　　则

2　术　　语

3　基本规定

4　工艺及工艺设备

4.1　一般规定

4.2　污染物控制

4.3　应急设施

5　碱性废气系统

5.1　一般规定

5.2　处理流程和方法

5.3　处理设备

5.4　风管及附件

6　酸性废气系统

6.1　一般规定

6.2　氮氧化物、高浓度酸及电镀废气

7　挥发性有机物废气系统

7.1　一般规定

7.2　废气收集、排风管道系统

7.3　处理系统

7.4　处理设备

7.5　自动控制及安全措施

8　特种废气系统

8.1　一般规定

8.2　烷类尾气处理系统

8.3　全氟化合物（PFC）尾气处理系统

8.4　其他特种尾气处理系统

8.5　中央废气处理系统

9　除尘系统

9.1　一般规定

9.2　系统设计、处理流程及方法

9.3　处理设备

9.4　风管及附件

10　电子玻璃窑炉废气系统

10.1　一般规定

10.2　系统设计、处理流程及方法

10.3　处理设备

10.4　风管及附件

11　事故通风

11.1　一般规定

11.2　系统设计及有害气体净化

12　电气设计

12.1　供配电与照明

12.2　防雷与接地

附录A　电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度（IDLH）

1　General provisions

2　Terms

3　Basic requirments

4　Process and processing equipment

4.1　General requirements

4.2　Pollution control

4.3　Emergency facilities

5　Alkaline exhaust system

5.1　General requirements

5.2　Process and methods

5.3　Process equipment

5.4　Duct and accessories

6　Acid exhaust system

6.1　General requirements

6.2　Nitric oxide，high concentration acid and electroplating exhaus

7　Volatile organic compounds exhaust system

7.1　General requirements

7.2　Exhaust collection and exhaust duct system

7.3　Process system

7.4　Process equipment

7.5　Automatic control and safety measures

8　Special contaminated exhaust system

8.1　General requirements

8.2　Alkanes point-of-use exhaust system

8.3　Perfluorocompounds point-of-use exhaust system

8.4　Other special contaminated exhaust system

8.5　Centralized abatement system

9　Dust removing system

9.1　General requirements

9.2　System design，process and methods

9.3　Process equipment

9.4　Duct and accessories

10　Electronic glass furnace exhaust system

10.1　General requirements

10.2　System design，process and methods